专门研发的一款上照式膜厚测试仪。仪器外观简洁大方,通过自动化的X轴Y轴Z轴的三维移动,双激光定位和保护系统,实现对平面、凹凸、拐角、弧面等各种简单及复杂形态的样品进行快速对焦精准分析。
性能优势
配置——采用高分辨率SDD探测器;分辨率高达140eV
上照式设计——实现微小不规则表面样品如弧形,拱上照式设计形,凹槽,螺纹等异形的快、准、稳高效检测
高精度自动化的X轴Y轴Z轴的联动装置实现对样品的精准对焦快速检测
采用高度自动定位激光,可快速精准定位测试高度,以满足不同尺寸的镀层测试
多种准直孔可供选择——准直孔:0.05*0.3mm;Ф0.1mm;Ф0.2mm;Ф0.3mm;Ф0.5mm
定位精准——样品可快速精准定位
操作简易——全自动智能集成设计,让检测轻松完成
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